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多晶硅薄膜晶体管的表面氮钝化技术
采用N2O和NH3等离子钝化技术对多晶硅薄膜表面和栅氧表面进行了钝化处理。实验结果表明,该技术能够有效降低多晶硅薄膜的界面态密度......
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